光纖維用高純石墨制品

（1）石英預(yù)制棒的制造用高純石墨制品。作為光纖原料的石英預(yù)制棒是用VAD(Vapor-phase Axial Deposition)等方法制成的棒狀原料。由于石英預(yù)制棒所含有的氣泡可以造成拉絲光纖質(zhì)量缺陷，所以有必要在1000℃以上加熱，除去氣泡，這種加熱爐使用籠狀石墨加熱器。圖2-49所示為其形狀例，另外，為除去預(yù)制棒中影響透光率的OH基，需要在氯氣中進(jìn)行熱處理，該處理爐中使用高純石墨筒。圖2-50所示為通過石墨模拉絲的光導(dǎo)纖維。

（2）光導(dǎo)纖維拉伸線爐用高純石墨制品。光通信所使用的光導(dǎo)纖維的制造工藝為，將直徑少50~100mm的高純石英棒在Ar氣體氣氛及2000℃以上加熱熔融，利用其重力下垂拉伸而生產(chǎn)4100um左右的纖維。在加熱爐內(nèi)大量使用石墨制品，如高純石墨的加熱器、均熱用的爐芯管、排氣管、保溫筒以及用炭纖維制的保溫材料。為了降低石英中雜質(zhì)的混入量，都使用高純材料。圖所示為加熱器形狀的一例。

其他用途炭高純石墨制品

本文主要說明制造半導(dǎo)體、通信和電子器械過程中所必要的間接部件及其他用途中使用的高純石墨制品。

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