微小尺寸是一個企業(yè)正在迅猛發(fā)展的領(lǐng)域。隨著社會科學(xué)管理技術(shù)的進(jìn)步與發(fā)展，對微小尺寸的測量工作要求我們越來越迫切。很多相距很遠(yuǎn)的科學(xué)教育部門，從機(jī)械工業(yè)、電子信息工業(yè)到生物系統(tǒng)工程建設(shè)以及經(jīng)濟(jì)環(huán)境資源保護(hù)等；從尖端科學(xué)的熱核反應(yīng)到日常學(xué)習(xí)生活中的化學(xué)纖維，都有自己微小尺寸的問題。而要求進(jìn)行微小尺寸測量的物體，從尺寸、幾何形狀和作用方面來說也是因為各種各樣的。

隨著科學(xué)技術(shù)和工業(yè)生產(chǎn)的發(fā)展，產(chǎn)品的小型化或小型化已成為一項重要的費(fèi)用，因此小尺寸的測量越來越多；學(xué)科也多樣化。 如細(xì)絲、小孔、小球、涂層厚度等。 面對這些測量任務(wù)，迫切需要提出新的測量原理和方法..

其平面度誤差的變化指的是在一個多世紀(jì)的平坦表面的量。按照規(guī)定，平整度誤差應(yīng)評估最小條件，即，評估是在參考平面，并且平整度誤差是表面與兩個平行的平面的最小距離之間包容實(shí)際距離。對于許多工件的，由于位置難以確定提前理想平面，因此，當(dāng)施加到測量轉(zhuǎn)印參考平面測量的原始數(shù)據(jù)，則再次向的方法來評估的最小條件，以在測得的平整度到達(dá)錯誤平面。

平面度誤差的測量

平面度誤差的測量研究方法主要可分為企業(yè)直接測量法和間接測量法。直接測量法是將被測的實(shí)際工作表面與理想表面可以直接影響進(jìn)行分析比較，兩者相互之間的線值距離，即為該被測表面的直面度誤差值，間接測量法則是我們通過控制測量學(xué)生實(shí)際問題表面上若干點(diǎn)相對測量基準(zhǔn)的高度差或傾斜角作為一個原始信息數(shù)據(jù)，然后再換算為以線值表示的平面度誤差。

在自然界中，一個小的液體表面可以作為一個自然平面，但要獲得這樣的平面，就必須克服氣流和振動引起的波動和表面張力引起的邊緣效應(yīng)；具有更嚴(yán)格的工作環(huán)境。

指示表的測量：將被測量的部分被支撐在板的平面上測量到從計量板輪廓的三點(diǎn)最遠(yuǎn)的距離。按照一定的分布測量表面測量。該表指示的最大和最小讀數(shù)之間的差值是平直度誤差的值。

用平晶測量：將平晶緊貼在被測平面上，由于企業(yè)產(chǎn)生的干涉條紋，經(jīng)過分析計算能力得到一個平面度誤差值。此方法可以適用于具有高精度的小平面。

水平測量：將水準(zhǔn)儀放在被測平面上通過，用水準(zhǔn)儀按一定方向逐點(diǎn)測量.. 經(jīng)過計算，得到了平面度誤差值。

錯誤是測量精度的一個問題是容易，并且在測量過程中，我們必須了解導(dǎo)致測量誤差及其解決方案。使錯誤預(yù)防和補(bǔ)償，精確的測量結(jié)果獲得。